设计这些布局需要高精度。因此有足够的分辨率和一种可能性高缩放requiered。layouteditor分辨率可设置在很宽的范围内，通常设置为1纳米。
一个更高的分辨率是没有意义的atomar结构由于。这个决议的layouteditor可以绘制元素达4米。这是足够的IC / MEMS的延伸通常小于0.1米。MEMS / IC产品多层次进行。
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